采用上述结构进行光栅尺刻写工作方式:步骤一:将待刻写的玻璃放在真空吸附板204上,打开真空装置,使其相对于平台不再产生位移,x轴粗动轴rz微动旋转轴y轴粗动轴rxyz微动轴400轴同时归零,激光刻写仪器900待机,设备处于初始待工作状态;
光栅尺的安装方法有以下几点:将表固定在表座或表架上,稳定可靠。装夹指示表时,夹紧力不能过大,以免套筒变形卡住测杆。调整表的测杆轴线垂直于被测平面,对圆柱形工件,测杆的轴线要垂直于工件的轴线,否则会产生很大的误差并损坏指示表。测量用平板做零位基准,比较测量用对比物(量块)做零位基准。调零位时,先使测头与基准面接触,压测头使大指针旋转大于一圈,转动刻度盘使0线与大指针对齐,然后把测杆上端提起1-2mm再放手使其落下,反复2-3次后检查指针是否仍与0线对齐,如不齐则重调。
图7为本实用新型提出的一种用于光栅尺刻线的大尺寸激光直写运动平台中大理石基座总结构示意图;图中,x轴粗动轴,x轴滑台基座,x轴气浮滑块,x轴直线电机;rz微动旋转轴,rz轴转台转动块,rz轴直线电机,平面反射镜,真空吸附板,镜座;y轴粗动轴,y轴气浮滑块,y轴直线电机;
光栅尺的安装方法有以下几点:将表固定在表座或表架上,稳定可靠。装夹指示表时,夹紧力不能过大,以免套筒变形卡住测杆。调整表的测杆轴线垂直于被测平面,对圆柱形工件,测杆的轴线要垂直于工件的轴线,否则会产生很大的误差并损坏指示表。测量用平板做零位基准,比较测量用对比物(量块)做零位基准。调零位时,先使测头与基准面接触,压测头使大指针旋转大于一圈,转动刻度盘使0线与大指针对齐,然后把测杆上端提起1-2mm再放手使其落下,反复2-3次后检查指针是否仍与0线对齐,如不齐则重调。
中,复合型横梁中工字钢的示意图;图7为本实用新型提出的一种用于光栅尺刻线的大尺寸激光直写运动平台中大理石基座总结构示意图;图中,x轴粗动轴,x轴滑台基座,x轴气浮滑块,x轴直线电机;rz微动旋转轴,rz轴转台转动块,rz轴直线电机,平面反射镜,真空吸附板,镜座;y轴粗动轴,y轴气浮滑块,y轴直线电机;