技术实现要素：本实用新型提供一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台，包括：激光刻写仪器900，用于在待刻写玻璃刻写光栅尺；x轴粗动直线轴100，用于光栅尺刻写时，使玻璃在x轴方向上做扫描运动；rz微动旋转轴200，安装于x轴粗动直线轴100上，用于对x轴粗动直线轴100运动产生的误差进行补偿，使玻璃始终相对于x轴是平行水平运动的。y轴粗动轴300，用于光栅尺刻写时，带动激光刻写仪器900进行运动；

步骤：完成步骤之后，便完成了光栅尺一条刻度的刻写工作，接着y轴粗动轴运动到下一工作点，重复步骤，步骤，直至y轴粗动轴跑完整个行程，完成一条光栅尺的刻写工作。上述实施例仅例示性说明本专利申请的原理及其功效，而非用于限制本专利申请。

本实用新型的有益效果：使用了光栅尺与激光干涉仪相结合的反馈方式，使得平台自身的精度大大提高了；与现有的刻写平台相比，增加了xy方向上的行程，使得生产的光栅尺长度增加了；与现有的刻写平台相比，x轴，rz轴，y轴，还有自由度微动台的结合，可以消除平台自身的误差，使得生产的光栅尺的精度等级提高了。附图说明图1为本实用新型的总结构示意图；图2为本实用新型的局部结构示意图，进一步的说是关于x轴与rz轴的结构示意图；中，复合型横梁的结构示意图；中，复合型横梁中工字钢的示意图；

本实用新型主要涉及大尺寸激光直写运动平台领域，尤其涉及一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台。背景技术：现用于光栅尺刻写的运动平台受限于其尺寸和性能，使得其刻写出来的光栅尺的性能和长度已经渐渐落后于时代，所以，生产一种大尺寸、高精度的运动平台来满足精度不断升级的光栅尺刻写需求已显得尤为必要。其关键技术特征为测量信号的高速同步采集以及干涉测长电信号与刻线电信号的关联处理，以消除测量速度对于测量结果的影响。稳频激光源作为干涉光源使得测量结果可以直接溯源到激光标准波长，提高了测量精度。采用双向测量、数据拼接的方法解决了长工作距离下显微镜低倍率时起始端刻线信号失真致单向无法完成测量的问题，测量是运动台运动下的动态扫描测量，可以实现快速测量，有效解决了尺寸达几百毫米较大长度的长光栅微密线纹的测量问题。

优选的，还包括多个气囊减震器700，大理石基座500放置于气囊减震器700上方。本实用新型的有益效果：使用了光栅尺与激光干涉仪相结合的反馈方式，使得平台自身的精度大大提高了；与现有的刻写平台相比，增加了xy方向上的行程，使得生产的光栅尺长度增加了；与现有的刻写平台相比，x轴，rz轴，y轴，还有自由度微动台的结合，可以消除平台自身的误差，使得生产的光栅尺的精度等级提高了。附图说明图1为本实用新型的总结构示意图；图2为本实用新型的局部结构示意图，进一步的说是关于x轴与rz轴的结构示意图；中，复合型横梁的结构示意图；中，复合型横梁中工字钢的示意图；