光栅尺采用德国NUMERLK生产的JENA开放式光栅尺，光栅读头13型号为LIE5 2PL5FDO，光栅尺带12型号为MV51-40BP00020；光栅读头13固定连接连轴8的一端和导向杆14。为动子线圈骨架侧面剖视图，线圈骨架表面具有透空孔洞15，以减轻线圈骨架自身重量。如权利要求1所述的短行程高响应直线电机，其特征是定子的两处偏心位置分别装有直线轴承和光栅尺，直线轴承内活动嵌有导向杆，光栅读头固定连接连轴的一端和导向杆，以保证动子部分在轴向直线运动时不发生旋转运动，并实现电机轴向运动与测量的系统化。如权利要求1或2所述的短行程高响应直线电机，其特征是动子的线圈骨架采用轻型材料并具有透空孔洞，以减轻动子惯量。

x轴粗动直线轴100，用于光栅尺刻写时，使玻璃在x轴方向上做扫描运动；rz微动旋转轴200，安装于x轴粗动直线轴100上，用于对x轴粗动直线轴100运动产生的误差进行补偿，使玻璃始终相对于x轴是平行水平运动的。y轴粗动轴300，用于光栅尺刻写时，带动激光刻写仪器900进行运动；

根据权利要求1所述的直线电机模组，其特征在于，所述凸台的左侧面贴有光栅尺，所述载盘上还设置有编码器转接块，所述编码器转接块上设置有编码器读头，所述编码器读头与所述光栅尺配合连接。根据权利要求1所述的直线电机模组，其特征在于，一所述侧板上设置有弹簧，所述载盘上设置有弹簧拉块，所述弹簧连接所述弹簧拉块。

动子线圈9为192匝平绕；动子两侧弹簧11的弹性系数为5N/mm；连轴8两端及定子偏心位置的直线轴承10的型号为LMF6GUU；光栅尺采用德国NUMERLK生产的JENA开放式光栅尺，光栅读头13型号为LIE52PL5FDO，光栅尺带12型号为MV51-40BP00020；

直线光栅尺和旋转编码器均依据相对运动的原理来产生光信号，这些信号经过光电器件的转换处理后，用来检测机械装置的位移。FAGOR反馈产品提供的输出信号是由光源通过刻在直线尺或盘片的栅格线后，再经光电转换装置的处理产生的。读数装置由光源、刻线玻璃与栅格窗、以及光电极管接收装置组成。FAGOR反馈产品采用红外发光极管（IRED）作为光源，这种光源具有安全、寿命长的特点。