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莱格光栅尺位移传感器的工作原理、分类

时间:2020-06-10浏览量:185

莱格光栅尺位移传感器,也称光栅尺、光栅尺传感器,是利用莫尔条纹的光学原理,对物体位置移动的测量反馈装置。通过检测莫尔条纹个数,来“读取”光栅刻度,然后再根据驱动电路的作用,计算出物体的位移和速度。

(莫尔条纹原理:是两条线或两个物体之间,以恒定的角度和频率发生干涉的视觉结果。当人眼无法分辨这两条线或两个物体时,只能看到干涉的花纹,这种光学现象中的花纹就是莫尔条纹。)

莫尔条纹应用最广泛的领域是光栅位移测量,根据莫尔条纹原理可以实现直线位移和角位移的静态、动态测量,基于莫尔条纹数量与位移的关系实现精密位移测量,能够满足接触、非接触、小量程、大量程、一维、多维等各种需求的测量与控制反馈,广泛应用在程控、数控机床和三坐标测量机、精密测量与定位、超精密加工、微电子IC制造、地震预测、质量检测、纳米材料、机器人、微机电系统MEMS(Microelectro Mechanical Systems)、振动检测等众多领域。

一、光栅尺位移传感器的分类

光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅、反射光栅两大类。
1、透射光栅
指光源与接收装置分别放置在光栅尺的两侧,通过接收光栅尺透过来的衍射光变化来反应位置变化。比较通用的是玻璃光栅。.

2、反射光栅
指光源与接收装置安装在光栅尺的同一侧,通过接收光栅尺反射回来的衍射光变化来反应位置变化。比较通用的有钢带光栅和玻璃光栅。.

二、光栅尺位移传感器的结构
光栅尺位移传感器是由标尺光栅、光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。

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